PN-EN 62047-12:2012 - wersja angielska

Przedstawiono metodę badania zmęczenia na zginanie materiałów cienkowarstwowych przy zastosowaniu wibracji rezonansowych struktur MEMS. Dotyczy zakresu wibracji stuktur 10 - 1000 angstremów na płaszczyźnie o grubości 1-100 angstremów z próbkami o długości i szerokości 1 mm a grubości 0,1- 100 angstremów. Podstawowe materiały MEMS mają specyficzne właściwości takie jak typowe rozmiary kilku mikrometrów, wytwarzanie materiałów przez nanoszenie i tworzenie próbek za pomocą obróbki niemechanicznej z uwzględnieniem fotolitografi. Struktury MEMS często mają wyższą podstawową częstotliwość rezonansową i większą wytrzymałość niż makrostruktury. Dla oceny i zagwarantowania trwałości struktur MEMS należy przyjąć metodę badania na zmęczenie z b. dużym okresem (aż do 1012). Celem tej metody badawczej jest ocena właściwości zmęczeniowych materiałów w skali mikro w krótkim czasie przez zastosowanie dużego obciążenia i wysokiej częstotliwości okresów naprężeń zginających przy zastosowaniu wibracji rezonansowej