PN-EN 62047-14:2012 - wersja angielska
Bez VAT:
126,50 PLN
Z VAT:
155,60 PLN
Przyrządy półprzewodnikowe -- Przyrządy mikroelektromechaniczne -- Część 14: Metoda pomiaru granicy formowania metalicznych materiałów cienkowarstwowych
Zakres
Niniejsza część normy IEC 62047 opisuje definicje i procedury pomiaru granicy formowania metalicznych materiałów cienkowarstwowych o grubości w zakresie od 0,5 mikrometra do 300 mikrometrów. Metaliczne materiały cienkowarstwowe opisane tutaj są używane w komponentach elektrycznych, MEMS oraz mikroprzyrządach. Jeśli metaliczne materiały cienkowarstwowe zastosowane w MEMS (patrz 2.1.2 w IEC 62047-1:2005) są wytwarzane za pomocą procesów kształtowania jak drukowanie, to konieczne jest przewidywanie uszkodzeń materiału w celu zwiększenia niezawodności komponentów. Dzięki temu przewidywaniu efektywność wytwarzania komponentów MEMS za pomocą procesu kształtowania może być poprawiona, ponieważ okres ulepszania wyrobu może być skrócony, a koszty produkcji w ten sposób zmniejszone. Niniejsza norma przedstawia jedną z metod przewidywania uszkodzeń materiałów w procesie drukowania