PN-EN 62047-10:2012 - wersja angielska
Bez VAT:
90,50 PLN
Z VAT:
111,32 PLN
Przyrządy półprzewodnikowe -- Przyrządy mikroelektromechaniczne -- Część 10: Badanie materiałów MEMS na ściskanie za pomocą mikrokolumn
Zakres
Niniejsza norma określa metodę badania materiałów MEMS na ściskanie za pomocą mikrokolumn w celu pomiaru parametrów zgniatania z dużą dokładnością i powtarzalnością oraz przy niezbyt trudnym wytwarzaniu próbki. Mierzy się zależności miedzy naprężeniem a odkształceniem nieosiowym, z czego można obliczyć moduł elastyczności na ściskanie i granicę plastyczności. Próbka jest cylindryczną kolumną zbudowaną na sztywnym (albo wysoce sztywnym) podłożu przy wykorzystaniu technologii mikroobróbki i jej proporcje (stosunek średnicy kolumny do jej wysokości), powininny być większe niż 3. Niniejsza norma ma zastosowanie do metalicznych, ceramicznych i polimerowych materiałów