PN-EN 62047-25:2017-04 - wersja angielska

Niniejsza część IEC 62047 wyszczególnia metodę badania in-situ, by zmierzyć siłę wiązania obszaru mikrowiązań, który jest wytworzony przez technologie mikromaszynowe użyte w opartym na krzemie układzie mikroelektromechanicznym (MEMS). Ten dokument jest przydatny do pomiaru in-situ wytrzymałości na rozciąganie-ściskanie i ścinanie obszaru mikrowiązań wytworzonego przez proces technologii mikroelektronicznej i inną technologię mikromaszynową. Mikro kotwica, osadzona na podłożu poprzez obszar mikrowiązań, dostarcza mechanicznego podparcia ruchomym komponentom funkcjonalnym wyczuwania/pobudzania w urządzeniach MEMS. Dla urządzeń ważących, obniżenie siły wiązania, wywołane przez wady, zanieczyszczenia i naprężenie niedopasowania termicznego na powierzchni wiązania, staje się poważniejsze. Niniejsza norma wyszczególnia metodę badania in-situ wytrzymałości na rozciąganie-ściskanie i ścinanie bazującą na technice modelowania. Ten dokument nie potrzebuje złożonych narzędzi (takich jak mikroskopia z sondą skanującą i nanowycinarka) i przygotowania specjalnie próbki do badania. Odtąd struktura testująca w tej normie może zostać wszczepiona w produkcji urządzenia jako standardowy model wykrywania, ten dokument może dostarczyć pomost, przez który formiernia produkcji może dać jakieś ilościowe odniesienie dla konstruktora.