PN-EN 62047-26:2016-09 - wersja angielska

Niniejsza część IEC 62047 wymienia rodzaje struktury rowkowej i struktury igłowej w skali mikrometrowej. Ponadto dostarcza ona przykłady pomiaru dla geometrii obu struktur. Dla struktur rowkowych, niniejsza norma odnosi się do struktur o głębokości od 1 μm do 100 μm; ścianek i rowków z indywidualnymi szerokościami od 5 μm do 150 μm i współczynnikiem kształtu od 0,0067 do 20. Dla struktur igłowych, norma odnosi się do struktur z trzema lub czterema płaszczyznami o wysokości, szerokości poziomej i szerokości pionowej 2 μm lub większej oraz o wymiarach, które wpasowują się do wnętrza sześcianu o bokach 100 μm. Niniejsza norma jest przydatna do projektowania strukturalnego MEMS i oceny geometrycznej po przetworzeniach MEMS.