PN-EN 62047-18:2014-02 - wersja angielska
Bez VAT:
136,00 PLN
Z VAT:
167,28 PLN
Przyrządy półprzewodnikowe -- Przyrządy mikroelektromechaniczne -- Część 18: Metody badania na zginanie materiałów cienkowarstwowych
Zakres
Niniejsza część IEC 62047 określa metodę badania na zginanie materiałów cienkowarstwowych o długości i szerokości poniżej 1 μm i grubości w zakresie pomiędzy 0,1 μm i 10 μm. Cienkie warstwy są stosowane jako główne materiały strukturalne dla MEMS i mikromaszyn. Główne materiały strukturalne dla MEMS, mikromaszyn itp., mają specjalne cechy, takie jak rozmiary kilku mikrometrów, wytwarzanie materiału przez osadzanie, fotolitografię i / albo obrabianie niemechaniczne próbki. Niniejsza Norma Międzynarodowa określa badanie na zginanie i kształt próbki dla mikrorozmiarowych gładkich wsporników typowych próbek, które dają gwarancję dokładności odpowiadającej specjalnym cechom
