PN-EN 62047-11:2014-02 - wersja angielska
Bez VAT:
170,20 PLN
Z VAT:
209,35 PLN
Przyrządy półprzewodnikowe -- Przyrządy mikroelektromechaniczne -- Część 11: Metoda badania liniowych współczynników rozszerzalności cieplnej wolnostojących materiałów dla systemów mikroelektromechanicznych
Zakres
Niniejsza część IEC 62047 określa metodę badania stosowaną do pomiaru liniowego współczynników rozszerzalności cieplnej (CLTE) cienkich wolnostojących stałych (metalowych, ceramicznych, polimerowych itp.) materiałów MEMS o długości między 0,1 mm i 1 mm i szerokości między 10 mikrometrów i 1 mm, i grubości między 0,1 mikrometra i 1 mm, które są głównymi strukturalnymi materiałami dla MEMS, mikromaszyn i innych. Ta metoda badania jest przydatna dla pomiaru CLTE w zakresie temperatury od temperatury pokojowej do temperatury topnienia 30 % materiału
