PN-EN 62047-17:2015-10 - wersja angielska
Bez VAT:
221,80 PLN
Z VAT:
272,81 PLN
Przyrządy półprzewodnikowe -- Przyrządy mikroelektromechaniczne -- Część 17: Metoda badania wybrzuszenia dla mierzenia własności mechanicznych cienkich folii
Zakres
Niniejsza część IEC 62047 wyszczególnia metodę dla wykonywania badań wybrzuszenia na wolno stojącej folii, która jest wybrzuszana wewnątrz okna. Próbka jest wyprodukowana z mikro/nano strukturalnych materiałów folii, w tym folii metalowych, ceramicznych i polimerowych, dla MEMS, mikromaszyn i innych. Grubość folii jest w zakresie od 0,1 μm do 10 μm, a szerokość prostokątnego i kwadratowego okna błony oraz średnica kołowej błony sięga od 0,5 mm do 4 mm. Badania są przeprowadzane w otaczającej temperaturze, przez stosowanie jednolicie rozprowadzanego ciśnienia do badanej próbki folii z wybrzuszanym oknem. Współczynniki sprężystości i pozostałe naprężenia dla materiałów foliowych mogą zostać wyznaczone przy pomocy tej metody.
