PN-EN 62047-16:2015-10 - wersja angielska
Bez VAT:
126,50 PLN
Z VAT:
155,60 PLN
Przyrządy półprzewodnikowe -- Przyrządy mikroelektromechaniczne -- Część 16: Metody badań dla określania naprężeń szczątkowych cienkich folii MEMS -- Metody krzywizny opłatka i ugięcia belki wspornika
Zakres
Niniejsza część IEC 62047 wyszczególnia metody badań do pomiaru naprężeń szczątkowych folii o grubości w zakresie od 0,01 μm do 10 μm w strukturach MEMS wytworzonych metodą krzywizny opłatka lub metodą ugięcia belki wspornika. Folie powinny być naniesione na podłoże o znanych właściwościach mechanicznych modułu Younga i współczynnika Poissona. Te metody są użyte w celu określenia nacisków szczątkowych w cienkich foliach naniesionych na podłoże.
