PN-EN 62047-15:2015-10 - wersja angielska

Niniejsza część IEC 62047 opisuje metodę badania wytrzymałości wiązania między polidimetylosiloksanem (PDMS) i szkłem. Kauczuk silikonowy, PDMS, jest używany do kształtowania chipowych przyrządów mikroprzepływowych wytwarzanych przy wykorzystaniu procesów litografii i formowania kopii. Zagadnienie wytrzymałości wiązania istnieje głównie dla zastosowań wysokociśnieniowych jak w przypadku projektowania pewnej pompy perystaltycznej, gdzie sprężone powietrze dostarczane spoza chipa jest użyte do kierowania płynów w mikro kanałach utworzonych przez podwójną warstwę, jedną utworzoną przez wiązanie między szkłem i uformowaną kopią PDMS i następną między PDMS i PDMS. Również, w przypadku systemów posiadających mikrozawory pneumatyczne, stosunkowo wysoki poziom wiązania szczególnie między dwiema warstwami uformowanych kopii PDMS staje się całkiem konieczny. Zazwyczaj istnieje przeciekanie i zjawiska oddzielenia warstw między powierzchniami przylegania związanych obszarów, które powodują niestabilność i skrócenie trwałości dla przyrządów MEMS. Niniejsza norma wyszczególnia ogólne sposoby postępowania w badaniach wiązania PDMS i szkła chipa.