PN-ISO 14237:2003 - wersja polska
Bez VAT:
170,20 PLN
Z VAT:
209,35 PLN
Analiza chemiczna powierzchni -- Spektrometria mas jonów wtórnych -- Oznaczanie stężenia atomów boru w krzemie z użyciem materiałów domieszkowanych równomiernie
Zakres
Opisano oznaczanie stężenia atomów boru w monokrystalicznym krzemie metodą spektroskopii mas jonów wtórnych (SIMS) z użyciem materiałów równomiernie domieszkowanych, wzorcowanych względem certyfikowanych materiałów odniesienia implantowanych borem, która jest stosowana do materiałów równomiernie domieszkowanych borem, w zakresie stężeń 1 x 10EXP16 atoms/cm3 to 1 x 10EXP20 atoms/cm3
