PN-EN 62047-9:2012 - wersja angielska
Bez VAT:
125,90 PLN
Z VAT:
154,86 PLN
Przyrządy półprzewodnikowe -- Przyrządy mikroelektromechaniczne -- Część 9: Pomiary wytrzymałości łączenia ze sobą płytek w przyrządach MEMS
Zakres
Niniejsza norma opisuje różne metody pomiaru wytrzymałości łączenia między sobą płytek oraz różne rodzaje procesów łączenia, takie jak łączenie ze sobą płytek krzemowych techniką stapiania, łączenie krzemu i szkła, itd, podaje także wymiary struktur stosowanych podczas operacji i montażu przyrządów MEMS. Stosowana grubość płytek waha się od rzędu 10 mikrometrów do kilkunastu milimetrów
