PN-EN 62047-8:2011 - wersja angielska

Niniejsza Norma Międzynarodowa omawia metodę badania na zginanie dla określenia właściwości pomiarowych cienkich warstw z dużą dokładnością, powtarzalnością, przy umiarkowanym wysiłku związanym z ustawieniem i przygotowaniem próbki porównywalnym z tym przy klasycznym badaniu na zginanie. Niniejsza metoda badania jest uzasadniona dla próbki o grubości od 50 nm do kilku mikrometrów oraz o stosunku długości do grubości próbki większym niż 300. W MEMS lub w mikromaszynach zazwyczaj stosuje się pasek (lub mostek) wiszący pomiędzy dwoma stałymi wspornikam. Znacznie łatwiej jest wykonać takie paski niż zastosować konwencjonalne próby rozciągania. Procedury testowe są łatwe do zautomatyzowania. Niniejsza Norma Międzynarodowa może być wykorzystana do badania jakości produkcji MEMS, ponieważ wydajność badania jest bardzo wysoka w porównaniu do tradycyjnych badań na rozciąganie