PN-EN 62047-6:2010 - wersja angielska

Omówiono metodę badania materiałów cienkowarstwowych o długości i szerokości poniżej 1 mm, a grubości od 0,1 um do 10 um na zmęczenie spowodowane działaniem sił osiowych o stałej amplitudzie obciążenia lub o stałej amplitudzie przemieszczenia. Cienkie warstwy są podstawowym materiałem dla sytemów MEMS i mikromaszyn. Główne materiały konstrukcyjne dla systemów MEMS, mikromaszyn itd. mają szczególne właściwości, np. typowe rozmiary rzędu kilku mikrometrów, wytwarzanie materiałów przez nanoszenie oraz przygotowanie próbek do badań za pomocą obróbki innej niż mechaniczna w tym fotolitografii. Badania przeprowadza się w temperaturze pokojowej, w powietrzu, z obciążeniem wzdłuż osi podłużnej próbki