PN-EN 62047-4:2011 - wersja angielska
Bez VAT:
100,60 PLN
Z VAT:
123,74 PLN
Przyrządy półprzewodnikowe -- Przyrządy mikroelektromechaniczne -- Część 4: Normy wspólne dotyczące przyrządów MEMS
Zakres
Niniejsza część normy zawiera specyfikację wspólną dotyczącą systemów MEMS wykonanych z przyrządów półprzewodnikowych, która stanowi podstawę do specyfikacji zawartych w innych częściach normy wieloczęściowej dotyczących różnych rodzajów zastosowań MEMS takich jak czujniki, RF MEMS, bio-MEMS, micro-TAS oraz mikromechaniczne przyrządy mocy. W niniejszej normie omówiono ogólne procedury oceny jakości stosowane w systemie IECQ-CECC oraz ustalono ogólne zasady opisu i badania parametrów elektrycznych, mechanicznych i środowiskowych. Systemy MEMS opisane w niniejszej normie są wykonywane głównie z materiałów półprzewodnikowych, jednakże postanowienia niniejszej normy dotyczą także MEMS wykorzystujących inne materiały np. polimery, szkło, metale i ceramikę
