PN-EN 62047-3:2006 - wersja angielska
Bez VAT:
117,00 PLN
Z VAT:
143,91 PLN
Przyrządy półprzewodnikowe -- Przyrządy mikroelektromechaniczne -- Część 3: Znormalizowana próbka materiału cienkowarstwowego do badań na rozciąganie
Zakres
Określono znormalizowaną próbkę do badań, którą wykorzystuje się, żeby uzyskać gwarantowaną wiarygodność i dokładność systemu badań na rozciąganie w przypadku materiałów cienkowarstwowych o długości i szerokości 1 mm i grubości poniżej 10 mikrometrów. Materiały te są podstawowymi materiałami strukturalnymi dla mikroelektromechaniki, mikromechanizmów i podobnych przyrządów
