PN-EN 62047-22:2014-11 - wersja angielska
Bez VAT:
126,50 PLN
Z VAT:
155,60 PLN
Przyrządy półprzewodnikowe -- Przyrządy mikroelektromechaniczne -- Część 22: Metoda badania rozciągliwości elektromechanicznej dla przewodzących cienkich folii na elastycznych podłożach
Zakres
Niniejsza część IEC 62047 wyszczególnia metodę badania rozciągliwości, by zmierzyć własności elektromechaniczne materiałów przewodzących cienkich systemów mikroelektrome-chanicznych (MEMS) związanych na nie przewodzących elastycznych podłożach. Struktury przewodzących cienkich folii na elastycznych podłożach są powszechnie wykorzystywane w MEMS, wyrobach konsumenckich i elastycznej elektronice. Elektryczne zachowania folii na elastycznych podłożach różnią się od zachowań swobodnych folii i podłoży z powodu ich międzyściennych oddziaływań. Rozmaite połączenia elastycznych podłoży i cienkich folii często prowadzą do różnych wpływów na skutki badań, które zależą od warunków badań i międzyściennego przylegania. Pożądana grubość cienkiego materiału MEMS jest 50 razy niższa niż grubość elastycznego podłoża, podczas gdy wszystkie inne wymiary są podobne dla każdego z nich.